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双辊多室镀膜系统正面图
双辊多室卷绕镀膜机
一、设备介绍
双辊多室卷绕室真空镀膜机是卷绕式磁控溅射镀膜机中的高端机型,所有系统高度集成,结构紧凑。溅射系统安装在移动台车上,可以方便进出真空室,利于更换靶材和设备维护。
二、设备优点
最多八个靶位,最多可以安装16个阴极,实现多层镀膜材质镀膜或都者高速镀膜。
双辊多室镀膜系统侧视图
三、功能及技术参数
1.最多八个靶位,最多可可以安装16个阴极,实现多层镀膜材质镀膜或都者高速镀膜。
2.单阴极、双阴极的灵活组合和互换性强,可以实现多种不同的镀膜工艺。
3.配置靶材利用率高的阴极及多段式布气,实现更低的使用成本并获得高品质镀膜层。
4.灵活、方便的靶材更换结构设计,更高的设备利用率。
5.配备进口的高性能溅射电源及流量控制器,提升工艺精确控制的硬件条件。
6.配备稳定镀膜工艺的闭环控制系统,提高镀膜工艺的均匀性。
7.配备等离子辉光前处理装置,有效提高镀膜层的沉积质量。
8.配备高精度的在线镀层检测系统,可实时监控设备镀膜系统的工作状态。
9.简单快捷的产品装卸机构设计。
10.设备自带纠偏及张丽的闭环控制系统,实现整齐、匀速的收放卷。
11.有效的真空隔离设计,无需破坏工艺室真空,提升生产效率并减少靶材污染。
12.可提供高性能镀膜工艺的技术支持。
13.采用进口真空泵组的配置,工作可靠稳定。
柔性透明功能膜材
四、参考机型参数表
设备型号 | 结构 | 阴极靶位 | 镀膜基材 | 基材厚度 | 镀膜种类 | 最大有效幅宽 | 卷绕速度 | 设备范围 |
TK-1250JRC | 双辊多室 | 8组(16个) | PTE/PEN/PIPC/PA等 | 25-20um | 多种金属膜(Ag/Al/Cu/Cr/Mo等)及介质膜 | 1250mm | 1-10m/min | 15x7x4m |
广东腾胜真空技术工程有限公司是专业制造高端真空镀膜设备的国家级高新技术企业。经过多年的发展目前公司在广东、江西等地建有多个制造基地。
腾胜公司成立至今已经有超过20年的历史。在2002年公司获得了SGS颁发ISO9001:2000版国际质量体系认证证书。2008年,公司获得国家质量信用企业4A级称号。2012年获得国家级高新技术企业称号。公司已有3个系列7个规格的真空镀膜机被评定为国家优等品或一等品。至今,公司已经获得了60多项国家专利。
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公司主要产品包括:连续式镀膜生产线(如:三银low-e建筑玻璃镀膜生产线、AR玻璃镀膜生产线、ITO玻璃镀膜生产线、AZO玻璃镀膜生产线等)以及卷绕式真空镀膜设备(ITO薄膜卷绕镀膜机、EMI屏蔽膜卷绕镀膜机、柔性覆铜板卷绕镀膜机、柔性薄膜太阳能电池卷绕镀膜机、太阳能集热膜镀膜生产线等产品)。
公司拥有完善的服务体系,并在深圳、浙江、台湾及美国等地建立了办事处,为有需要的用户提供技术服务。
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